1、臭氧：常溫常壓下是一種淡藍色腥臭味的氣體，分子式為O3，具有極強的氧化能力與殺菌脫色性能。
2、臭氧產量：即臭氧機的大小，每小時臭氧的發生量。計量單位：mg/h、g/h、kg/h。臭氧濃度×氣流量≈臭氧產量。
3、臭氧濃度：單位體積內臭氧的含量，可分臭氧出口濃度，空間臭氧濃度及水中臭氧濃度。計量單位：mg/L，mg/m3，ppm。1PPm=2.14mg/m³
4、臭氧水濃度：臭氧混合溶于水中，單位體積的臭氧含量。計量單位：mg/L、ppm。1PPm=1mg/L
5、空氣臭氧濃度：臭氧發生器用于空氣消毒除臭所需的臭氧濃度，根據消毒要求在1～60mg/m3。
6、電耗：不含氣源處理系統，臭氧發生器主機產生1kg臭氧的耗電量。計量單位：kw·h/kgO3。
7、臭氧投加量：一定單位的水體或空間所需要投加臭氧的量。計量單位：g/m3、g/T。
8、露點：為空氣干燥度的指標，空氣在多少溫度下開始出現結露現象。計量單位：℃。
9、氣流量：每小時進入臭氧發生器放電室中原料氣體量和排出臭氧化混合氣體的流量，分進氣流量和出氣流量。計量單位：m3/h。
10、進氣壓力：進入臭氧發生器放電室的原料氣體的壓力。計量單位：MPa。
11、出氣壓力：臭氧發生器出氣口的壓力。計量單位：MPa。空間遠距離投加臭氧及水處理曝氣要考慮臭氧機的出口壓力大小。
12、電化學產生臭氧法：利用直流電源電解含氧電解質產生臭氧的方法。
13、電暈放電法：利用交變高壓電場使含氧氣體產生電暈放電，電暈中的高能自由電子離解氧分子并聚合生成臭氧分子的方法。
14、臭氧消毒柜：在不銹鋼柜體里面加裝臭氧設備，利用臭氧對柜體里面物體消毒殺菌。常用有工作服，圖書檔案，包材器具，瓶子瓶蓋，棉被臭氧消毒柜
15、臭氧水機：在臭氧發生器器上面加裝射流器或氣液混合泵等臭氧與水混合系統，直接產生臭氧水的裝置。可用于水果，蔬菜，設備，海鮮，鳳爪等沖洗消毒，泳池水殺菌除藻。
16、介質管（板）：基本電磁場性能是受電場作用而極化的物質所構成的零部件，在臭氧發生單元中系指位于兩極之間，造成穩定的輝光放電的絕緣體。
17、介質強度：介質材料能承受而不致遭到破壞的最高電場強度。
18、管式臭氧發生器：高壓放電元件以同心圓安置的臭氧發生單元。石英管、玻璃管、搪瓷管
19、板式臭氧發生器：高壓放電元件以平行板安置的臭氧發生單元。陶瓷片
